大型晶圆厂目前已知的公开EUV工艺包括TSMC的7+和N5，以及三星的7LPP（及以下任何产品），英特尔的EUV努力仅在明年进入其自己的7nm产品组合。这些流程之外的任何前沿技术都将继续扩大EUV的使用范围。
与常规DUV机器相比，EUV机器的吞吐率通常较低，每小时约为120-175片晶圆，最新版本可以达到275 wph，但是由于1层EUV通常可以代替3-4层DUV，因此吞吐率更高。但是，对于这些代工厂来说，渴望扩展到多个EUV机器以增加晶圆的物理数量是一个迫切的目标 。
唯一制造EUV机器的公司是ASML，并且该公司公开宣布其每年销售多少台机器。详情如下：
请注意，到目前为止，ASML仍未完全达到其目标，但是已经足够接近实现目标，这表明到2020年第二季度末，ASML仅出货了13台，但他们预期是35个系统。这些数字包括ASML已制造的所有不同类型的Twinscan NXE机器，而更新的机器具有更高的吞吐量（有时会翻新一些旧的机器）。截止到2020年Q2，我们预测ASML已经发货的EUV机接近71台，到2020年年底，这个数字将有可能达到90台，然而ASML可能有多达积压49 EUV扫描曝光机订单，即使具有这些发货目标。
如果ASML已经出货了71台机器，那么根据台积电的数字，这意味着该公司大约有30-35台。请注意，TSMC的数字是针对“已安装的EUV”机器的。我们获悉，从获取零件到校准机器使用最多需要6个月的时间。因此，目前，这些晶圆厂中有一些正在等待安装EUV机器，或者在Intel的情况下，可能仅用于早期测试或风险前试验。我们知道，GlobalFoundries拥有两台早期的EUV机器，安装了一台，但是当它决定不追求领先的7nm时最终出售了这两台机器，其中国内企业订购了一台，但据我们所知，由于美国施加的限制，它没有安装。
随着台积电为其N5生产增加其Fab 18的产能，并提高其EUV集成度，看看台积电是否受制于其所拥有的机器数量是否受到限制将很有趣。在某个时候，英特尔在部署7纳米工艺时也会想购买一个数量（我已经看到英特尔已经至少有10台机器，但我无法确认），所以可能会有一个谁先获得订单的争吵。
但是可以肯定的是，ASML正处于中间位置，垄断着一切。
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