台湾电力股份有限公司(台电)表示,事故可能是力积电厂区特高压变电器跳脱导致。据业界人士透露,芯片生产工序中,薄膜、扩散、刻蚀区受电力压降风险较大,该区域晶圆可能会全面报废。从昨天各个厂区压降幅度在79%-95%之间来看,对相关机台影响等于“断电”。
一、台积电等多家半导体厂商受影响,面板巨头同样受损
昨日下午3点18分,中国台湾新竹科学园区(竹科)发生跳电事故,造成新竹市东区大范围供电压降,甚至湖口、竹北等地都有电灯闪烁情形。在竹科上班的员工称,厂区因为空调停摆等,人员暂时疏散,不过电力恢复平稳,没有停电情形。
对于本次电力事故,力积电回应,压降时间相当短暂,仅0.101秒,部分较敏感的生产机台出现跳电,正在查明原因。但跳电时间短暂,机台也快速重启,对生产影响有限。
台积电昨日声明,其部分厂区昨日下午受到电力压降影响,历时约50到100多毫秒不等,压降发生原因尚待台电厘清。厂区内员工无安全威胁,实际影响正在确认中。
联电则表示,其生产运营并未受到影响。
世界先进坦言,旗下新竹厂区有部分机台因压降而受影响,目前已根据标准作业程序进行检查兵服员,对公司生产运营的影响正在评估中。
除了半导体厂商,中国台湾面板双雄中的友达光电也受到了电力压降事故影响。
友达光电透露,昨天压降意外导致厂区部分机台异常,已于晚间回复,常务运作正常,人员均安。由于另一面板大厂群创光电的主要生产基地位于竹科竹南园区,其生产未受此次事件影响。
二、或起源于力积电主变压器故障,非敏感机台或启动保护程序
面对本次事故,台湾电力股份有限公司(台电)新竹区营业处回应,昨天下午的电力事故并非台电的输电系统造成,而是竹科内特高压(161kV)用户的电力设备故障所导致。
台电还表示,可能是晶圆代工厂力积电在科学园区内的主变压器跳脱导致事故发生。台电正派人员检修,压降影响范围包括新竹科学园区、新竹市东区、竹北台元科技园区、竹科生医园区和湖口新竹工业园区,不过目前没有任何用户停电。
其举例到,这类电力事故影响就如同在池塘里投入石头,会漾起一圈圈涟漪,越是接近石头落水处的区域,压降幅度越大。
▲力积电位于新竹科学园区的厂区位置
新竹科学园区负责人王永壮称,竹科昨天下午发生0.05秒到1秒之间的电力下降事故,竹科内厂商测得压降幅度介于79%到95%之间,半导体的敏感机台大多有不断电系统(UPS)保护,其余机台则会跳脱电力,启动保护程序。
业界人士指出,半导体厂区发生压降时,黄光区(如洁净室等区域要用钠灯照射,避免特定波长的光与硅片发生反应)有电压稳定装置,不会发生晶圆报废的情况,但薄膜、扩散、蚀刻区(晶圆)风险较大,可以说是全面报废。
从昨天压降幅度在79%-95%之间来看,对机台相当于“断电”,即便压降时间不到1秒,仍会对厂商造成不一的影响。
三、去年联电曾发生跳电事故,影响大概与地震类似
事实上,中国台湾的半导体厂商发生跳电事故并非孤例。
去年4月,台积电南科厂区由于超高压变电电路跳脱,从而引发停电事故。
据台媒报道,当时因南科厂区邻近的三福气体进行厂区新建工程施工,在厂区内进行作业时,不慎损坏电力供应商台电的161kV地下电缆,导致南科-三福线线路跳脱,从而引发停电事故。
台积电因为这次停电事故,大概会有3万片晶圆受影响,预计损失金额在10亿新台币以内。联电南科12英寸厂也受波及而发生电力压降,不过联电声明因厂区即时应对,这次事故并未造成生产营运上的影响。此外群创、瀚宇、康宁、南茂等均出现压降问题。
而就在该事故的1个月前,台积电Fab12 P6厂就曾因变电设备超载发热而起火。当时台积电外包人员正在对该厂的变电设备进行保养维护,变电设备突然冒出白烟,消防设备随即启动进行二氧化碳灭火。
此外,2021年1月,联电竹科力行厂区也曾发生跳电事故,并传出爆炸声响,楼顶冒出阵阵浓烟。消防员到场后发现,其厂区发电机负荷过载导致了事故发生。
联电财务长刘启东证实,该厂区占联电8英寸晶圆产能的一半,其影响大概与地震复机类似。
据行业人士估计,联电去年1月跳电及停电数小时,相关机台复归调教约需半天,预计将造成上亿新台币的损失。
结语:全球缺芯下,半导体厂商天灾人祸影响或被放大
近一年以来,中国台湾半导体厂商生产屡次出现天灾人祸,地震、洪水、干旱、停电、设备故障等均有发生。整体来看,由于半导体厂商对各类天灾人祸均有预警和防备,并未对生产造成重要的影响。
但同时,在全球芯片短缺、供应链还遭遇地区冲突影响的今天,台积电等厂商的产线早已满载,甚至一整年的订单已经确认,任何可能导致生产中断的事故都可能引发业界关注和放大,影响供应链上下游。
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